Основното приложение на този продукт е директното му използване като ултрачист прекурсор на CVD.
Производството на микропроцесори и чипове с памет изисква специални CVD прекурсори, направени от ниобиев пентахлорид "Най-висока чистота".
Енергоспестяващите халогенни лампи имат топлоотразяващ слой от ниобиев пентахлорид.
При производството на многослойни керамични кондензатори (MLCC) ниобиевият пентахлорид осигурява подкрепа за оптимизиране на дизайна на прах.
Използваният за тази цел зол-гел процес се прилага и при производството на химически устойчиви оптични покрития.
ниобиев пентахлорид се използва в каталитични приложения.
