Бұл өнімнің негізгі қолданбасы оны өте таза CVD прекурсоры ретінде тікелей пайдалану болып табылады.
Микропроцессорлар мен жад микросхемаларын өндіру үшін «Ең жоғары тазалық» ниобий пентахлоридінен жасалған арнайы CVD прекурсорлары қажет.
Энергияны үнемдейтін галогендік шамдарда ниобий пентахлоридінен жасалған жылуды көрсететін қабат бар.
Көпқабатты керамикалық конденсаторлар (MLCCs) өндірісінде ниобий пентахлориді ұнтақ дизайнын оңтайландыруға қолдау көрсетеді.
Осы мақсатта қолданылатын золь-гель процесі химиялық төзімді оптикалық жабындарды өндіруде де қолданылады.
ниобий пентахлориді каталитикалық қосымшаларда қолданылады.
