การใช้งานหลักสำหรับผลิตภัณฑ์นี้คือการใช้งานโดยตรงในฐานะสารตั้งต้น CVD ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ
การผลิตไมโครโปรเซสเซอร์และชิปหน่วยความจำต้องใช้สารตั้งต้น CVD พิเศษที่ทำจากไนโอเบียมเพนตะคลอไรด์ "ความบริสุทธิ์สูงสุด"
หลอดฮาโลเจนประหยัดพลังงานมีชั้นสะท้อนความร้อนที่ทำจากไนโอเบียมเพนตะคลอไรด์
ในการผลิตตัวเก็บประจุเซรามิกหลายชั้น (MLCC) ไนโอเบียมเพนตะคลอไรด์ให้การสนับสนุนการออกแบบผงให้เหมาะสมที่สุด
กระบวนการโซลเจลที่ใช้เพื่อจุดประสงค์นี้ยังนำไปใช้ในการผลิตสารเคลือบเลนส์ที่ทนทานต่อสารเคมีอีกด้วย
ไนโอเบียมเพนตะคลอไรด์ใช้ในการใช้งานตัวเร่งปฏิกิริยา
