La ĉefa apliko por ĉi tiu produkto estas ĝia rekta uzo kiel ultrapura CVD-antaŭulo.
La produktado de mikroprocesoroj kaj memoraj blatoj postulas specialajn CVD-antaŭulojn faritajn el niobio-pentaklorido "Plej Alta Pureco".
Energiŝparaj halogenaj lampoj havas varmecan reflektan tavolon el niobio-pentaklorido.
En la produktado de plurtavolaj ceramikaj kondensiloj (MLCCoj), niobio-pentaklorido provizas subtenon por pulvordezajna optimumigo.
La sol-ĝela procezo uzata por ĉi tiu celo ankaŭ estas aplikata en la produktado de kemie rezistemaj optikaj tegaĵoj.
niobiopentaklorido estas uzata en katalizaj aplikoj.
