या उत्पादनासाठी मुख्य अनुप्रयोग म्हणजे अल्ट्राप्युअर CVD पूर्ववर्ती म्हणून त्याचा थेट वापर.
मायक्रोप्रोसेसर आणि मेमरी चिप्सच्या उत्पादनासाठी निओबियम पेंटाक्लोराईड "सर्वोच्च शुद्धता" पासून बनविलेले विशेष सीव्हीडी पूर्ववर्ती आवश्यक आहे.
उर्जा बचत करणार्‍या हॅलोजन दिव्यांमध्ये नायओबियम पेंटाक्लोराईडचा उष्णता प्रतिबिंबित करणारा थर असतो.
मल्टीलेयर सिरेमिक कॅपेसिटर (MLCC) च्या उत्पादनात, नायबियम पेंटाक्लोराईड पावडर डिझाइन ऑप्टिमायझेशनसाठी समर्थन प्रदान करते.
या उद्देशासाठी वापरली जाणारी सोल-जेल प्रक्रिया रासायनिक प्रतिरोधक ऑप्टिकल कोटिंग्जच्या निर्मितीमध्ये देखील लागू केली जाते.
niobium pentachloride हे उत्प्रेरक अनुप्रयोगांमध्ये वापरले जाते.
