Татбиқи асосии ин маҳсулот истифодаи мустақими он ҳамчун прекурсори ултра тозаи CVD мебошад.
Истеҳсоли микропросессорҳо ва чипҳои хотира прекурсорҳои махсуси CVD-ро талаб мекунанд, ки аз пентахлориди ниобий "Тазаҳои баландтарин" сохта шудаанд.
Лампаҳои галогении каммасраф дорои қабати инъикоскунандаи гармӣ аз пентахлориди ниобий мебошанд.
Дар истеҳсоли конденсаторҳои сафолии бисёрқабата (MLCCs), пентахлориди ниобий барои оптимизатсияи тарроҳии хока дастгирӣ мекунад.
Процесси соль-гель, ки барои ин максад истифода мешавад, инчунин дар истедсоли рУпушдои оптикии ба химия тобовар истифода мешавад.
пентахлориди ниобий дар барномаҳои каталитикӣ истифода мешавад.